LED步進式光刻機

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產品特點適用于4-6英寸基底LED硅芯片/藍寶石芯片生產中的光刻工藝，采用超大曝光視場，大大減少曝光次數，顯著提高產能；同時該設備具有高分辨率、高線寬均勻性等特點。?

產品應用

應用范圍：LED晶圓。

主要參數	加工尺寸	4”、6“晶圓
	加工速度	4", 137pcs/h 6", 110pcs/h
	加工精度	分辨率2μm L/S
	平臺參數	定位精度 X: ±200nm Y: ±200nm Z: ±350nm Rx Ry Rz：10urad
	激光器參數	光源：2000W UV Lamp，波長365nm 感光區域：53*38.5mm 工作照度：>550mW/cm2(New lamp) 光源均勻度：≤3%
	Tact time	4”：43.1秒(第一片)，循環TT 25.6秒 6”：49.1秒(第一片)，循環TT 31.6秒
	稼動率	>95%