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          股票代碼

          002008

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          激光剝離機

          激光剝離機

          產品特點 1、線形光斑的激光整形技術,實現在不同尺寸加工樣品上的剝離操作?;
          2、氣浮式的工作臺實現無接觸無摩擦的加工形式,避免產生粉塵顆粒,保證裝備內部的潔凈度;
          3、高精度、大尺寸、雙工位的stage設計,可有效提高生產效率?;
          4、panel載臺吸附設計。激光設備的物料載臺的真空吸附部分,采用了分區域加時間延遲的設計,先吸附中間部分,再逐次往外圍吸附,保證帶柔性膜的panel可以無皺褶高效吸附。

          產品應用

          應用范圍:柔性顯示屏激光剝離。

          產品參數

          主要參數加工尺寸1"-8"
          加工速度180mm/s
          加工精度0.1μm
          平臺參數1)移動精度
          X 軸: 0.1μm
          Y 軸: 0.1μm
          Z 軸: 1μm
          Theta 軸: 0.2°
          2)定位精度
          X 軸: ≤±4μm
          Y 軸: ≤±4μm
          Z 軸: ≤±5μm
          Theta 軸: 0.1°
          激光器參數1)激光器波長: 308nm
          2)激光能量: ≥600W
          3)激光脈沖功率: 1000mJ
          4)總頻率: 600 Hz
          5)脈沖寬度: 24±4ns
          6)脈沖穩定性: ≤1%
          工藝方式DPSS激光剝離
          制程類型激光剝離
          Tact time1":4.5s
          8":6s
          稼動率0.9


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