全自動晶圓標記系統（ID標記） HDZ-WAF500 - 專用打標機_專用打標機設備報價-大族激光 - 大族激光官網

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全自動晶圓標記系統（ID標記） HDZ-WAF500

全自動晶圓標記系統（ID標記） HDZ-WAF500

產品特點 1、應用于半導體晶圓ID標記，兼容6、8吋晶圓產品；
2、適用于Si/GaAs/SiC等常見的晶圓材料；
3、全自動作業，配備FFU過濾模塊；
4、配備雙臂機械手，可選配SMIF上料模塊；
5、遵循SEMI標準，支持SECS/GEM通訊協議。

產品應用

應用領域：

主要應用于Si、GaAs、SiC、EMC、Solder mask等常12吋以下晶圓材料的ID標記。

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